参会各单位代表凝神细听,这关乎切身利益。
“第一种,无偿科研专项基金。主要用于2015到2017年的基础研发阶段。
原理样机、材料配方、工艺攻关。这些高风险、高投入、短期看不到回报的事,中元科技与大基金来兜底。
钱不用还,不用稀释股权,只要能拿出成果。基金按课题拆分,按节点拨付。
完成一个节点,给下一笔钱。完不成,整改;整改还不行,换人。”
“第二种,分级低息专项贷款。主要用于2018到2023年的产业化阶段。
建厂房、买设备、扩产能,这些固定资产投入,我们提供无息或者年化1%的低息贷款。
核心涉密企业,无息;配套企业,低息。贷款期限5到8年,用未来产品销售收入还款。
国家将出台相关政策,国内所有晶圆厂优先采购国产光刻机,大家不用担心卖不出去。”
“第三种,合规战略入股。2021年之后,企业开始盈利,我们再进行战略入股。
我在这里郑重承诺:所有白名单企业,国有资本永远是第一大股东。
中元科技投资的持股比例,院所企业不超过15%,民营核心企业不超过30%。
不谋求控股权,不干预企业日常经营,只做长期战略合作伙伴。股权五年锁定期,禁止向外资转让。”
宋词直白总结:“简单说就是:前期中元科技与大基金扛风险,中期国家给政策、给市场支持,后期光刻机产业链企业一起赚钱。”
台下响起一片满意的笑声。
“这模式太厚道了!”
“以前搞科研,最怕的就是钱不够。现在好了,有大基金和首富兜底,我们只管放开手脚干!”
“是啊,不用再为申请经费跑断腿,终于能专心搞技术了。”
“第三,事怎么干。”宋词话锋一转,语调变得严肃。
“下面,请科技总长宣读《国家光刻设备自主化十年技术总路线白皮书》,明确技术路线和企业分工。”
科技总长走上发言席,翻开白皮书:
“经专项工作组和院士专家组反复论证,确定本次专项技术总路线:
跳过干式DUV,直接主攻193nm浸没式DUV,以7nm多重曝光为最终目标。
光刻机所有软件、算法、仿真、良率优化板块,由腾达科技全面负责,独家承接。”
各单位代表心头震惊:光刻机所有涉及软件的板块,腾达科技居然敢一肩挑。
这家互联网公司在软件算法领域的技术,已经强悍到这种地步了!
“核心硬件环节分工如下:
一、整机总装集成:东海微电子装备(集团)股份有限公司
二、193nm准分子激光光源:科益虹源光电技术有限公司(由专项工作组牵头,三个月内完成注册组建)
三、投影物镜组:奥普光电技术股份有限公司
四、双工件台:华卓精科科技股份有限公司
五、浸没式系统:国科精密仪器有限公司
六、精密光学检测:中科微星光电科技有限公司
七、半导体级石英玻璃:菲利华石英玻璃股份有限公司
八、纳米级光栅尺:禹衡光学有限公司
九、真空与环境控制系统:中科科仪股份有限公司”
“以上9家企业,为本次专项核心白名单企业。
任何单位和个人,不得干预企业正常研发生产,不得重复建设同类项目,不得进行无序竞争。”
宣读完毕,华芯国际CEO邱慈云第一个发言:
“我代表华芯国际表态:我们将全力配合专项工作,所有产线优先用于国产光刻机的工艺验证,所有数据无条件共享。
哪怕砸锅卖铁,也要配合大家搞出国产光刻机!”
紧接着,东海微电子贺总、春城光机所老所长、科益虹源筹备负责人,一一表态。
“东海微电子保证,2018年拿出首台浸没式DUV工程样机!”
“春城光机所保证,2017年完成投影物镜组原理样机!”
“科益虹源保证,三个月内完成组建,2016年出193nm激光器原理样机!”
一句句铿锵誓言在会场回荡,见证国产光刻机里程碑式的一幕。
最后,进入最庄严的环节:签订军令状。
红色的军令状铺在签字台上,上面写着十年攻坚的核心目标和考核节点。
领导第一个签字,然后是各部门负责人。
接着,宋词作为总牵头人,登台郑重签下自己的名字。
随后,9家白名单企业负责人依次上前,立下军令状。
每一笔落下,都重若千钧,那是中国半导体产业的十年蓝图。
......
会议落幕,车辆疾驰在道路上。
车厢内,宋词靠在后座,开口关心:“拿下高通5000万芯片订单,华芯国际产能够不够?”
邱慈云无奈道:“扩充产能,刻不容缓。”
他旋即将华芯国际产能现状详细汇报给大老板。
北平二期12英寸厂月初刚刚竣工,目前产能还在爬坡,只有1.2万片/月,良品率仅65%,主要生产28nm工艺芯片。
东海金桥一期晶圆厂28nm产能1万片/月,良品率72%。
目前整个华芯国际28nm月总产能2.2万片晶圆,已被腾达、得文、展讯等客户全部占满,产能100%运转。
“还有三天,6台阿斯麦尔DUV光刻机就要随荷兰贸易大臣到来。
接收之后,抓紧安装调试。”宋词叮嘱,心头惦记着那台最宝贝的EUV光刻机。
邱慈云斟酌道:“宋董,高通骁龙410处理器是全球最畅销的入门级4G手机芯片。
每片12英寸晶圆可生产1100颗骁龙410芯片。5000万颗芯片需要约4.55万片12英寸晶圆。
按我们目前产能,交付周期至少要18个月。”
宋词皱眉:“太慢了!我与高通有协议,以长期芯片代工换取高通在国内手机市场的份额,后续年订单可能增至1亿颗。
华芯国际必须立即扩充产能,马上动工再建一座大型晶圆厂。”
“宋董,建一座月产能3万片的12英寸晶圆厂,至少需要投入200亿。公司一时拿不出那么多资金……”
“资金我来解决。”宋词摆摆手,心中开始精打细算。
“200亿资金,前期有个60亿就能把项目启动起来。
10亿美元,我继续借给华芯国际5亿美元,剩余5亿美元向银行借贷。”
大众专项业务分红陆续到账,拿10亿美元出来启动晶圆厂,他毫无资金压力。
邱慈云心神一松,内心感慨万千,有金主在背后撑着,感觉真好!