“他没有解决。”科赫在光路图的透镜位置画了一个叉。
“这就是问题的核心。”
科赫放下铅笔,靠回椅背。
“启航那台光刻机的光源,是汞灯i线,波长365纳米。”
道格拉斯写下一个数字:365nm。
“365纳米的汞灯,配合他们军工级石英透镜组的数值孔径,理论分辨率极限大约在0.5微米左右。”科赫报出具体参数。
“韩栋用超算系统的算力,做了大量的光学邻近效应修正和离轴照明优化,把实际可用线宽推到了0.2微米,甚至在个别层次上做到了0.15微米。”
“0.15微米。”
道格拉斯重复了一遍,语气里没有轻蔑,也没有震惊,只是在做客观评估。
“按照北美目前的主流制程,贝尔实验室去年已经跑通了0.25微米,英特尔的奔腾处理器用的是0.35微米工艺。”
“没错。”科赫说。
“启航的芯片制程比北美先进大约一代到一代半,但这不是致命问题。”
道格拉斯抬起头。
“从365纳米的汞灯i线,到248纳米的深紫外准分子激光,这中间不仅仅是换一个光源的事情。”
科赫重新拿起铅笔,在光路图上标注出几个关键节点。
“第一,248纳米的深紫外光,普通石英玻璃在这个波段的吸收率急剧上升,透镜组必须换成高纯氟化钙单晶材料。
氟化钙单晶的生长周期极长,一块光刻级的毛坯需要至少十八个月的缓慢结晶过程,而且对原料纯度的要求远超石英。
据我所知,启航目前没有氟化钙单晶生长的任何技术储备。”
“第二,深紫外镜头组的表面面形精度,必须控制在均方根值0.3纳米以内。
启航目前用传统的沥青盘抛光工艺,只能做到2到3纳米,要突破到0.3纳米,唯一的技术路径是磁流变抛光。”
道格拉斯停下记录,抬头看着科赫:
“你刚才说启航正在尝试自己造磁流变抛光机?”
“对,我离开华夏之前,通过外围渠道获取的情报表明,韩栋已经给他的材料部门下了命令,要求造出磁流变抛光样机。”科赫答道。
道格拉斯发出一声低沉的鼻音。
不是嘲笑的意味,更接近于一个老猎手确认猎物行踪后的那种确认。
“磁流变抛光这个东西,北美从1989年开始做预研,罗切斯特大学光学中心牵头,陆军研究所注资,花了六年时间,投入四千多万美金。
到今天为止,也只有两台真正达到亚纳米级精度的工程样机。”
道格拉斯合上笔记本。
“韩栋想在短时间内追平北美六年的成果,这已经不是自信的问题了。”
“韩栋不需要追平。”科赫纠正了道格拉斯的判断。
道格拉斯看着他。
“你们低估了盘古超算系统的计算补偿能力。”科赫的表情严肃。
“韩栋在做的事情,从来不是复刻西方的技术路径。
他的方法论是用算力去填补硬件精度的不足,他在天工机床上已经验证过这套逻辑。”
“天工的机械精度其实并不比日系高端设备强多少,但盘古系统的非线性预测算法能把机械误差实时补偿到极低水平。”
“你认为他会把同样的逻辑用在抛光机上?”理查德问。
“一定会。”科赫断言。
“韩栋会让抛光机的机械结构做到七十分,然后用盘古系统把最终精度拉到九十五分。
这样做的研发周期,可能只需要北美模式的五分之一。”
在座的精英们陷入沉默。
道格拉斯拧开钢笔帽,又合上,这是他的习惯动作,通常出现在他需要消化关键信息的时候。
“科赫先生。”
理查德·克莱恩打破沉默。
“你对启航芯片制程的分析非常有价值,但我需要你确认一件事,启航目前的QX系列芯片,真实产能是多少?”
科赫回忆了一下在华夏最后几个月收集到的碎片信息。
“QX-01和QX-02两款主力芯片,月产能大约在三万片晶圆,这是推算值。”科赫给出一个数字。
“三万片。”理查德在笔记本上记录下来。
“按照0.15微米制程的芯片面积,单片晶圆的有效芯片数大约两百到三百颗,月产能在六百万到九百万颗之间。”
“听起来不少。”道格拉斯说。
“对于华夏国内市场来说,勉强够用。”科赫回应。
“但韩栋的布局绝不只是满足华夏,他在沪上展会上宣布天目光栅尺面向全亚洲敞开供应,天工机床的海外订单刚刚拿下了马来西亚的第一批。
玄武网络的节点正在向东南亚扩散,每多接入一个节点,就多消耗一批QX芯片。”
“所以他的产能缺口会越来越大。”理查德说。
“而他无法快速扩大产能,因为生产线无法快速扩张。”科赫将结论抛出来。
“准确地说,一套镜头组需要数月的精密抛光周期,没有磁流变抛光机,只靠传统工艺,他的光刻机产能扩张速度会极其缓慢。”
道格拉斯放下钢笔,十指交叉放在桌面上。
“所以,你的结论是,抛光工艺是启航最脆弱的咽喉。”
“不仅是抛光工艺。”科赫摇头。
“是围绕抛光工艺的整条材料链。”
科赫转向理查德。
“克莱恩先生,你负责瓦森纳协定的技术评估,我建议你在管制清单上,不要只盯着成品设备。”
理查德推了推眼镜,目光锐利。
“继续说。”
“磁流变抛光的核心,是那瓶抛光液。”科赫在白纸上写下两个化学名词。
“高纯球形羰基铁粉,粒径分布必须控制在1到5微米之间,球形度大于0.95。
亚微米级氧化铈抛光颗粒,粒径中位值在200纳米左右,分散均匀性要求极高。”
理查德接过话:“羰基铁粉的全球产能集中在巴斯夫和ISP两家,都是欧美的供应商。
氧化铈的高纯加工,澳大利亚的莱纳斯和北美的钼公司掌握原矿提纯技术。”
“没错。”科赫点头。
“韩栋的材料部门,可能会尝试用等离子体辅助提纯来自己制造羰基铁粉。
但球形化处理需要专用的雾化塔设备,这种设备目前只有德国GEA和日本大川原有标准化产品。”
“我可以确认一件事。”理查德从公文包里抽出一份薄薄的文件。
“维也纳会议的技术评估草案,我已经完成了初步审定。”
他将文件翻到第三页,用指尖点着其中几个条目。
“除了成品磁流变抛光设备之外,草案新增了四个子条目。”
理查德一条一条念出来。
“第一,粒径小于10微米的球形羰基铁粉,出口至非缔约国需逐案审批。”
“第二,平均粒径小于500纳米的高纯氧化铈抛光材料,同样适用逐案审批。”
“第三,用于生产球形金属粉末的气雾化设备及其核心喷嘴组件,列入双用途物项清单。”
“第四,磁流变抛光液的配方技术资料及相关工艺流程文档,列为受控技术。”
科赫听完这四条,嘴角微微抽动了一下。
这是一套教科书级别的掐断策略。
不仅封锁成品设备,连制造设备所需的原材料和制造原材料所需的设备,全部纳入管控。
三层嵌套,层层封死。
“这四条如果在维也纳通过,生效日期是什么时候?”科赫问。
“二十八天后。”理查德回答。
“缔约国有十四天的内部通报期,随后各国海关同步更新管制代码。”
“启航通过第三方国家转口采购的可能性呢?”威廉从副驾驶位置转了把椅子过来,坐在桌边。
“已经考虑到了。”理查德的语气平淡。
“草案附件里有一条最终用户审查条款,任何缔约国的出口商,在向非缔约国客户发货前,必须获得进口方出具的最终用途证明,且最终用户不得为名单上的实体。
启航集团及其所有子公司,包括启航材料、启航半导体、启航光学,全部在名单初稿上。”
“如果走民间代理商以个人名义采购呢?”威廉追问。
“这些材料的用量不是实验室级别的。”理查德说道。
“磁流变抛光液的消耗量极大,一台抛光机每月需要更换数十升。
这种规模的采购量,任何一个代理商都无法解释合理用途,海关数据库的监控模型会自动标记异常采购行为。”