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第三千一百三十七章 关键的PAS5500

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  “你想说台积电火灾那次是吧?”

  “是啊,台积电诞生时是台岛工研院和飞利浦的合资公司。在台积电里,飞利浦占27.5%股份,是最大外部股东。因此飞利浦才会毫无保留地把MEGA生产线开放给台积电学习,然后再原封不动地把整条生产线搬到台湾给台积电。”

  “意外的是88年底新生产线快装好的时候发生了火灾。台积电把所有被烟熏了的光刻机退回ASML,重新下了十七台新机的订单。ASML刚好非常缺钱,这些订单在关键时刻救了急。而为火灾买单的保险公司成了ASML 1989年最大的客户,让ASML第一次实现盈利。”胡长风说道:“所以说命好有时候也是一种能力。”

  “哈哈哈,再后来就是1992年,飞利浦来大陆了。”

  “这个我就太熟悉了。”胡长风说道:“当时沪上元件五厂、上无七厂和上无十九厂与飞利浦公司洽谈合资,成立了沪上飞利浦半导体公司,在漕河泾建成我国第一条5英寸Foundry线。打破了我国没有Foundry线的历史。这个事情当时就是我主抓。”

  “说起来也是可恨,当时我们也想引进PAS 2500来着,但是单线500万美金的价格,实在是太高了,加上我们当时根本就没有配套的6英寸晶圆生产能力,最后不得不选择已经处于淘汰边缘的5英寸线。”说起创业史,胡长风除了唏嘘还是唏嘘。

  “5英寸也很不错了,虽然做不了超大,但是起码解决了LSI生产的问题,为我们的存储芯片事业打下了坚实基础。”周至笑道:“现在金融业和各个单位尝到了甜头,国内各类存储卡的需求激增,那条线现在都忙不过来了吧?”

  “嗯,接下来,就该是从六英寸过渡到八英寸的那一关而来吧?”胡长风说道:“我们的809工程,其核心就是引进一条八英寸芯片生产线。结果差点栽到里头。”

  “也不能完全怪决策。”周至到现在倒是想明白了:“当年这个项目出问题,还有一个重要原因,那就是后续的投资没有跟上,IBM为这个生产线,可是豪砸了10亿美金,而我们一国的外汇储备,前年也才百亿美元,真没多余的钱做后续。”

  “好在是熬过来了。”胡长风说道:“顺便还给产品升了个级,没被国际水平甩开太远。”

  “对,获得八英寸晶圆生产线是关键。”周至说道:“有了这个基础,我们引进三星产品线和松下闪存技术,进行存储芯片生产才有了可能。不过在光刻机领域,日系的运气就不如欧系了。”

  “从6英寸制程过渡到8英寸的过程中,从G线到I线的技术演进中,两家日本公司犯了一个错误。尼康和佳能计划跳过365nm的i线,直接从465nm的G线过渡到KrF的248nm的激光。”

  “这是一个无比超前的计划,如果成功,光刻机将直接进入DUV时代。”

  “不过他们低估了DUV的技术难度。两家公司的设备无法顺利通过测试,体积和耗能均非常大,而且没有对应的DUV光刻胶,最终被迫回头,重启365nm的i线设备研发。”

  “而ASML却稳扎稳打,他们继续研发了基于I线光源的PAS 5500光刻机,但是将涉及架构更换成了可以改进的新机器架构。”

  “这个架构的设计非常灵活,镜头和光源可以快速更换,先期匹配高分辨率i线光源,后期再匹配DUV镜头的KrF激光器,一举取得了先发优势。”

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