真空吸附启动,吸力甚至不能开得太大,以免吸盘纹理将硅片压出印痕。
“盘古系统申请提升控制权限。”陆佳杰汇报着。
“在达到二十五微米阈值后,常规五千次的力反馈将出现滞后,系统请求切换超频控制模式。”
韩栋立刻下达指令:“同意超频,把大兴节点所有的冗余算力,全部砸进控制接口。”
机台内传出微弱的蜂鸣声。
砂轮下降,切削开始。
前六十分钟加工极为漫长,从七百二十五微米磨到二十五微米,过程平稳。
但当屏幕上的厚度计数器跳到二十五微米的瞬间。
警报红灯猛烈闪烁。
“晶格发生微观断裂风险!”刘海波大吼。
“切向阻力呈现几何倍数上升,硅片内部晶界出现错位。拖拽力即将把晶圆扯碎!”
赵崇明冲到屏幕前。
这种极度的物理脆性,正是所有厂商不敢做大面积背照式CCD的根本原因。
韩栋按住控制台边缘。
“不用人工干预,相信算力。”
下一秒,盘古系统的超频指令强行注入。
力反馈频率,从每秒五千次,瞬间拉升到一万两千次。
控制精度的量级被暴力拉平到了纳牛顿级别。
微观视野里,砂轮盘正在进行每秒一万两千次的微小抬起与压下。
硅片表面试图撕裂自身的内部应力,被这种超过万次的微观切削彻底粉碎。
力无处释放,只被化解。
厚度读数缓慢下降。
这台由天工机床部件临时拼凑成的怪物,在超级计算机的支配下展现出了神迹般的控制力。
12.5微米。
读数定格在12.3微米。
砂轮盘立刻回撤。
最后这十几微米的压榨,整整耗时十二分钟。
机械臂落下,吸头提起晶圆。
没有断裂。
全盘完整。
晶圆被送入清洗槽,转移到无影灯下的检测台上。
赵崇明走到台前,低着头盯着那片防静电布上的东西。
太薄了。
在强烈的无影灯光下,这片单晶硅晶圆出现半透明的暗金色质感。
赵崇明伸出手,用无磁镊子小心翼翼夹住晶圆边缘,将其抬起几厘米。
光线穿透了硅片,透过这层十二点三微米的硅膜,他清晰看到了下方防静电布上的编织纹理。
“透明了。”赵崇明声音微颤。
“物理极限被击穿了。”
他将晶圆平稳放回原处。
刘海波启动激光测厚仪和白光干涉仪探头。
一分钟后,结果输出。
“平均值:12.32微米。全盘公差:正负0.15微米。”
这个误差,比绝大多数用化学腐蚀法做出的硅片还要平整十倍!
彻底排除了焦平面扭曲的风险。
“表面粗糙度读数。”赵崇明紧接着问出核心问题,这是光学器件能否正常工作的关键。
白光干涉仪探头反馈读数。
Ra:0.8纳米。
赵崇明身体僵硬,他反复看了三遍仪器的校准标识。
“化学机械抛光的理论极限,被认为是两到三纳米。”赵崇明低声呢喃。
“这台机械设备,没有用任何抛光液腐蚀,直接把表面粗糙度压到了原子级平滑度。”
他抬起头看向韩栋。
他积累七年的半导体常识,被盘古系统用最蛮横的方式彻底击碎。
没有漫长的工艺摸索,启航用算力跨界融合出的技术,是高维度打击。
“韩院长。”赵崇明语气敬畏。
“您说的对,只要能提供接口,算力就能重新定义刻蚀法则,这台设备就是切开背照式CCD大门的物理手术刀。”
赵崇明转身走向防静电工作台,打开那个金属密码箱。
里面排列着十二片区熔提纯单晶硅晶圆。
“减薄只是解决了接收问题,接下来要把十亿个像素单元精准刻蚀到薄膜上。”
韩栋拔出数据秘钥。
“刘海波,设备验证通过,立刻换液。”韩栋下达正式流片指令。
“赵所长,把区熔硅晶圆送上机台,先打两片十二微米的基底出来,然后直接转运到深紫外光刻机工位。”
“我要盘古系统在这几片高纯硅上,重写光刻机的光学折射率。
四十八小时内,十亿像素的天文级CCD必须看到实物,任何一个坏点,都会导致整片晶圆重新回炉。”
赵崇明重重点头,亲自抱起密码箱。
算力打穿了减薄屏障,下一步,盘古将直接干预光子的运动轨迹。
十小时后,深紫外光刻机舱。
两片高纯区熔基底完成减薄并送入曝光台。
光刻机出厂的物理透镜天然存在微观形变,但在盘古算力面前,这一铁律被粉碎。
系统在三秒内锁定了透镜热畸变的十万个坐标,实施动态像差补偿算法。
掩膜台纳米级高频微调,激光脉冲受系统调控随时变换相干能量。
原本存在偏折的光子,被盘古以算力做导航,硬生生砸进了完美无缺的矩形像素阱。
没有任何多余动作,微观电磁战争在三十秒的深紫外光脉冲中收束。
后段离子注入,磁场扫除一切杂散波形,磷离子和硼离子精准定格在目标深度。
次日清晨六点。
刘海波推开检测室的大门。
承载盘上静躺着一块直径三百毫米的暗金色单片传感器芯片。
无切割,无拼接缝隙。
“通电探针测试。”赵崇明亲自操纵显微探针台。
探针落下,屏幕弹出巨型矩阵图像。
全屏幕是纯粹的黑色。
暗电流水平被压制到了0.002电子每像素每秒。
量子效率检测启动。
读数飙升定格在百分之九十七点一,它捕捉光子的能力达到了碳基生命难以企及的巅峰。
“报告坏点数量。”韩栋的声音在检测室内响起。
赵崇明立刻汇报。
“零。”
三百毫米面积,十亿像素点,零坏点。
哈勃望远镜那带有拼接盲区的视网膜,在这块芯片面前如同中世纪的粗糙琉璃。
“封存。”韩栋下令。
“通知航天科技集团的张国忠,望远镜载荷系统制造完毕。”